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3月29日，从北京科益虹源光电技术有限公司传到喜讯，由该公司自律研发设计生产的首台高能准分子激光器成功通过出厂竣工验收。此产品“亦庄智造”以高质量、低成本的优势，空缺了国内在准分子激光技术领域的空白，超越了国外厂家对该技术产品的长年市场独占。“您现在看见的这个大型器械就是科益虹源自律研发的准分子激光器，它主要分成三层，每一层的起到都不尽相同。
”北京科益虹源光电技术有限公司生产研发中心副总经理江锐告诉他记者，上层叫作高压脉冲电源（分）系统，它主要是获取激光转化成所需的电子能量，这是一个高强度的电子能量，所以这是一个强劲电模块；中间这一块是关键的光学核心模块，它就是把高压的电能转化成高强度的光能；底下的就是关键的掌控模块和一些承托模块，还包括配水、配气等等，它可以说道是整台激光器的“大脑”，掌控着整台激光器的运作。科益虹源有三款主营产品，分别是光刻用193nm准分子激光器、光刻用248nm准分子激光器以及水龙头式193nm准分子激光器。这家企业早已掌控了重频4kHz的193nm准分子光刻光源的核心技术，并研发出有了原理性样机。此类定型光源产品主要用作90nm和65nm以下节点的光刻机，此类光刻机占有主要地位，并在更好i－Line升级领域渐渐攻占更加多市场。
随着工业4．0的大大前进，更加多工业智能领域应用于的芯片将由90nm光刻机已完成。248nm产品的技术基础与193nm具备较强的相关性，技术难度小，开发成本较低，周期更加慢，在腔体设计和光学设计中只必须较小的改动，就可以较慢已完成产品研制，推向市场。据理解，北京科益虹源光电技术有限公司正式成立于2016年7月，注册资本1．2亿元，相结合股东单位中科院光电院、微电子所的技术基础，亦庄国投、国科有限公司的产业及资本力量，致力于打造出自主创新型企业，以具备自律知识产权的准分子激光技术及产品符合国家和市场需求。
科益虹源是国家02根本性专项“水龙头式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设”的成果产业化载体，也是作为“三城一区”科技创新成果转化成落地的一个实例。“科益虹源作为开发区光刻机零部件技术创新中心建设的联合单位，企业自律研发的准分子激光技术及产品沦为国内高水平的专业准分子激光技术解决方案提供商，该项光刻用准分子激光系统超越了美国和日本的长年独占地位。我们是目前国内惟一一支专门从事光刻准分子激光的研发团队，现超越该技术的国际独占局面，特别是在是在国内专利布局上，目前国家在该领域里70％的专利都出自于我们这个小团队。
”科益虹源总经理杨军红告诉他记者，“公司投产的首台高能准分子激光器成功通过出厂竣工验收后，将向中国科学院在西南地区规模仅次于的研究所——中国科学院光电技术研究所获取服务”。“三城”主要是要环绕着原创创意和根本性关键技术创新，要为高精尖产业建构获取源头活水和技术承托；“一区”则是接入三大科学城，让三大科学城的科技成果在这里集中于转化成，构成高端产业加快挤满的态势。
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